潔凈室幾乎用于每個小顆粒都會對制造過程產(chǎn)生不利影響的行業(yè)。它們的大小和復(fù)雜程度各不相同,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,制藥,生物技術(shù),醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)等行業(yè),以及航空航天,光學(xué)實驗室,軍事醫(yī)學(xué)和能源實驗室常見的關(guān)鍵工藝制造。
潔凈室
一、潔凈室概述
潔凈室是任何給定的容納空間,其中規(guī)定減少微粒污染并控制其他環(huán)境參數(shù),例如溫度,濕度和壓力。關(guān)鍵部件是高效微??諝猓℉EPA)過濾器,用于捕獲0.3微米和更大尺寸的顆粒。輸送到潔凈室的所有空氣都通過HEPA過濾器,在某些需要嚴格清潔性能的情況下,使用超低顆粒空氣(ULPA)過濾器。
選擇在潔凈室工作的人員接受污染控制理論的廣泛培訓(xùn)。他們通過氣閘,空氣淋浴和/或更衣室進入和離開潔凈室,他們必須穿著特殊的衣服,以捕捉皮膚和身體自然產(chǎn)生的污染物。
根據(jù)房間的分類或功能,人員的衣服可能與實驗室外套和發(fā)網(wǎng)一樣有限,或者與多層兔子套裝完全包裹在一起,并配有自給式呼吸器。
潔凈室服裝用于防止物質(zhì)從穿著者的身體上脫落并污染環(huán)境。潔凈室衣物本身不得釋放顆?;蚶w維,以防止人員污染環(huán)境。這種類型的人員污染會降低半導(dǎo)體和制藥行業(yè)的產(chǎn)品性能,并且例如可能導(dǎo)致醫(yī)務(wù)人員和醫(yī)療保健行業(yè)的患者之間的交叉感染。
潔凈室服裝包括靴子,鞋子,圍裙,胡須套,蓬松帽,工作服,面罩,連衣裙/實驗室外套,禮服,手套和手指套,發(fā)網(wǎng),頭套,袖子和鞋套。使用的潔凈室服裝類型應(yīng)反映潔凈室和產(chǎn)品規(guī)格。低級潔凈室可能只需要特殊的鞋子,鞋底完全光滑,不會跟蹤灰塵或污垢。但是,鞋底不得產(chǎn)生滑倒危險,因為安全總是優(yōu)先考慮。進入潔凈室通常需要潔凈室服。10,000級潔凈室可以使用簡單的罩衫,頭套和短靴。對于10級潔凈室,需要小心的長袍穿著程序,并配有拉鏈蓋,靴子,手套和完整的呼吸器外殼。
二、潔凈室空氣流量原理
潔凈室通過使用采用層流或湍流氣流原理的HEPA或ULPA過濾器來維持無顆粒空氣。層流或單向氣流系統(tǒng)以恒定流量向下引導(dǎo)過濾空氣。層流氣流系統(tǒng)通常在100%的天花板上使用,以保持恒定的單向流動。層流標準通常在便攜式工作站(LF罩)中說明,并且在ISO-1至ISO-4分類潔凈室中是強制性的。
適當(dāng)?shù)臐崈羰以O(shè)計包括整個空氣分配系統(tǒng),包括足夠的下游空氣回收。在垂直流動室中,這意味著在區(qū)域的周邊使用低壁空氣返回。在水平流動應(yīng)用中,它需要在過程的下游邊界使用空氣返回。使用天花板安裝的空氣返回與適當(dāng)?shù)臐崈羰蚁到y(tǒng)設(shè)計相矛盾。
三、潔凈室分類
潔凈室按空氣清潔程度分類。在美國的聯(lián)邦標準209(A至D)中,在一立方英尺的空氣中測量等于或大于0.5mm的顆粒數(shù),并且該計數(shù)用于對潔凈室進行分類。該標準的最新209E版本也接受該度量標準。聯(lián)邦標準209E在國內(nèi)使用。較新的標準是國際標準組織的TC 209。這兩個標準都根據(jù)實驗室空氣中的顆粒數(shù)量對潔凈室進行了分類。潔凈室分類標準FS 209E和ISO 14644-1要求進行特定的顆粒計數(shù)測量和計算,以對潔凈室或潔凈區(qū)域的清潔度水平進行分類。在英國,英國標準5295用于對潔凈室進行分類。該標準即將被BS EN ISO 14644-1取代。
潔凈室根據(jù)每單位空氣允許的顆粒數(shù)量和大小進行分類。諸如“100級”或“1000級”的大數(shù)字指的是FED_STD-209E,并且表示每立方英尺空氣允許的0.5mm或更大尺寸的顆粒的數(shù)量。該標準還允許插值,因此可以描述例如“類2000”。
小數(shù)字指的是ISO 14644-1標準,它規(guī)定了每立方米空氣允許的0.1微米或更大顆粒數(shù)的十進制對數(shù)。因此,例如,ISO 5級潔凈室每m最多105 = 100,000個顆粒。
FS 209E和ISO 14644-1都假定粒徑和粒子濃度之間的對數(shù) – 對數(shù)關(guān)系。因此,沒有零粒子濃度這樣的東西。普通室內(nèi)空氣大約為1,000,000或ISO 9。
四、ISO 14644-1潔凈室標準
五、BS 5295潔凈室標準
以上即是關(guān)于潔凈室定義,另凈化車間的等級劃分和原理可點擊此處進行了解。
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