半導體凈化車間是半導體生產(chǎn)過程中必不可少的工序,它包括光擴散等工藝環(huán)節(jié)。

半導體制造中,潔凈室主要指光擴外延等生產(chǎn)區(qū)，半導體凈化車間的定義 半導體潔凈室的等級一般分為四級。

凈化車間級別

光學級(Class) 100級(100μm≤p≤10μm)

粒子流級(10μm≤p≤100μm)

微塵粒度(1微米以下)1200級(1100μm≤p≤11000 μm)1

微米以上微粒 2500—3000 級(21000—31000 μ m ≤ p 30000—35000 μ m ) 35000—41000 級(410000—45000 μ m ≤ p 50000 μ m 以下) 42000級以上

超凈間(ULTRAZONE Rooms),也稱為無菌室或生物安全柜,其空間要求比千級潔凈室更高。

在超凈間內工作的人員必須穿特殊的隔離服并帶面罩和手套才能進入室內操作。

超凈間的空氣通過高效過濾器后由風機壓入并通過裝有高效過濾器和紫外燈管組合的送風口送到室內.再經(jīng)過初效過濾器濾除大顆?；覊m.最后通過UPS循環(huán)風系統(tǒng)排出到室外.整個空氣凈化過程都在密閉的空間內進行.因此超凈間的空氣中幾乎不存在微生物及粉塵微粒之類的污染物.由于沒有氣流死角且風速很高,因而可最大限度地減少工作人員在呼吸時引入塵埃而引起的疾病。

半導體凈化車間的特點

(1)高潔凈度:半導體生產(chǎn)的關鍵工序——光擴散等工藝均需在高潔凈度的環(huán)境中進行;

(2)高安全性:無塵環(huán)境使產(chǎn)品得到有效保護;

(3)良好的工作環(huán)境:清潔舒適的工作環(huán)境使人心情愉悅 ;

(4)節(jié)約能源與資源 :無塵車間對空調能耗的要求低;

(5)降低生產(chǎn)成本:提高工作效率;

(6)改善勞動條件:改善了工人勞動條件和作業(yè)環(huán)境 ;

(7)提高產(chǎn)品質量穩(wěn)定性:提高了產(chǎn)品的質量穩(wěn)定性。