潔凈室幾乎用于每個(gè)小顆粒都會(huì)對(duì)制造過程產(chǎn)生不利影響的行業(yè)。它們的大小和復(fù)雜程度各不相同，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，制藥，生物技術(shù)，醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)等行業(yè)，以及航空航天，光學(xué)實(shí)驗(yàn)室，軍事醫(yī)學(xué)和能源實(shí)驗(yàn)室常見的關(guān)鍵工藝制造。

潔凈室

一、潔凈室概述

潔凈室是任何給定的容納空間，其中規(guī)定減少微粒污染并控制其他環(huán)境參數(shù)，例如溫度，濕度和壓力。關(guān)鍵部件是高效微?？諝猓℉EPA）過濾器，用于捕獲0.3微米和更大尺寸的顆粒。輸送到潔凈室的所有空氣都通過HEPA過濾器，在某些需要嚴(yán)格清潔性能的情況下，使用超低顆粒空氣（ULPA）過濾器。

選擇在潔凈室工作的人員接受污染控制理論的廣泛培訓(xùn)。他們通過氣閘，空氣淋浴和/或更衣室進(jìn)入和離開潔凈室，他們必須穿著特殊的衣服，以捕捉皮膚和身體自然產(chǎn)生的污染物。

根據(jù)房間的分類或功能，人員的衣服可能與實(shí)驗(yàn)室外套和發(fā)網(wǎng)一樣有限，或者與多層兔子套裝完全包裹在一起，并配有自給式呼吸器。

潔凈室服裝用于防止物質(zhì)從穿著者的身體上脫落并污染環(huán)境。潔凈室衣物本身不得釋放顆?；蚶w維，以防止人員污染環(huán)境。這種類型的人員污染會(huì)降低半導(dǎo)體和制藥行業(yè)的產(chǎn)品性能，并且例如可能導(dǎo)致醫(yī)務(wù)人員和醫(yī)療保健行業(yè)的患者之間的交叉感染。

潔凈室服裝包括靴子，鞋子，圍裙，胡須套，蓬松帽，工作服，面罩，連衣裙/實(shí)驗(yàn)室外套，禮服，手套和手指套，發(fā)網(wǎng)，頭套，袖子和鞋套。使用的潔凈室服裝類型應(yīng)反映潔凈室和產(chǎn)品規(guī)格。低級(jí)潔凈室可能只需要特殊的鞋子，鞋底完全光滑，不會(huì)跟蹤灰塵或污垢。但是，鞋底不得產(chǎn)生滑倒危險(xiǎn)，因?yàn)榘踩偸莾?yōu)先考慮。進(jìn)入潔凈室通常需要潔凈室服。10,000級(jí)潔凈室可以使用簡(jiǎn)單的罩衫，頭套和短靴。對(duì)于10級(jí)潔凈室，需要小心的長袍穿著程序，并配有拉鏈蓋，靴子，手套和完整的呼吸器外殼。

二、潔凈室空氣流量原理

潔凈室通過使用采用層流或湍流氣流原理的HEPA或ULPA過濾器來維持無顆?？諝?。層流或單向氣流系統(tǒng)以恒定流量向下引導(dǎo)過濾空氣。層流氣流系統(tǒng)通常在100％的天花板上使用，以保持恒定的單向流動(dòng)。層流標(biāo)準(zhǔn)通常在便攜式工作站（LF罩）中說明，并且在ISO-1至ISO-4分類潔凈室中是強(qiáng)制性的。

適當(dāng)?shù)臐崈羰以O(shè)計(jì)包括整個(gè)空氣分配系統(tǒng)，包括足夠的下游空氣回收。在垂直流動(dòng)室中，這意味著在區(qū)域的周邊使用低壁空氣返回。在水平流動(dòng)應(yīng)用中，它需要在過程的下游邊界使用空氣返回。使用天花板安裝的空氣返回與適當(dāng)?shù)臐崈羰蚁到y(tǒng)設(shè)計(jì)相矛盾。

三、潔凈室分類

潔凈室按空氣清潔程度分類。在美國的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209（A至D）中，在一立方英尺的空氣中測(cè)量等于或大于0.5mm的顆粒數(shù)，并且該計(jì)數(shù)用于對(duì)潔凈室進(jìn)行分類。該標(biāo)準(zhǔn)的最新209E版本也接受該度量標(biāo)準(zhǔn)。聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E在國內(nèi)使用。較新的標(biāo)準(zhǔn)是國際標(biāo)準(zhǔn)組織的TC 209。這兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)都根據(jù)實(shí)驗(yàn)室空氣中的顆粒數(shù)量對(duì)潔凈室進(jìn)行了分類。潔凈室分類標(biāo)準(zhǔn)FS 209E和ISO 14644-1要求進(jìn)行特定的顆粒計(jì)數(shù)測(cè)量和計(jì)算，以對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)域的清潔度水平進(jìn)行分類。在英國，英國標(biāo)準(zhǔn)5295用于對(duì)潔凈室進(jìn)行分類。該標(biāo)準(zhǔn)即將被BS EN ISO 14644-1取代。

潔凈室根據(jù)每單位空氣允許的顆粒數(shù)量和大小進(jìn)行分類。諸如“100級(jí)”或“1000級(jí)”的大數(shù)字指的是FED_STD-209E，并且表示每立方英尺空氣允許的0.5mm或更大尺寸的顆粒的數(shù)量。該標(biāo)準(zhǔn)還允許插值，因此可以描述例如“類2000”。

小數(shù)字指的是ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，它規(guī)定了每立方米空氣允許的0.1微米或更大顆粒數(shù)的十進(jìn)制對(duì)數(shù)。因此，例如，ISO 5級(jí)潔凈室每m最多105 = 100,000個(gè)顆粒。

FS 209E和ISO 14644-1都假定粒徑和粒子濃度之間的對(duì)數(shù) – 對(duì)數(shù)關(guān)系。因此，沒有零粒子濃度這樣的東西。普通室內(nèi)空氣大約為1,000,000或ISO 9。

四、ISO 14644-1潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

五、BS 5295潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

以上即是關(guān)于潔凈室定義，另凈化車間的等級(jí)劃分和原理可點(diǎn)擊此處進(jìn)行了解。